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液體汽化流量的流量控制

通過(guò)將液體質(zhì)量流量計(jì) （LM-3000L） 與 Lintec 制造的內(nèi)置控制閥的蒸發(fā)器 （VU） 相結(jié)合，可以控制在汽化室之前引入蒸發(fā)器的流量。 因此，實(shí)現(xiàn)了高響應(yīng)性汽化的流量控制，而不受汽化器熱量的影響。

液體流量控制

通過(guò)將 Lintec 控制閥 （CV-1000） 與內(nèi)置 PID 控制器的液體質(zhì)量流量計(jì) （LM-3000L） 相結(jié)合，它可以用作液體質(zhì)量流量控制器。

在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，TEOS 等液體源比氣體更昂貴且更易于處理，它們會(huì)蒸發(fā)和變形。 在制造工藝方面，供應(yīng)量很大，而且許多最新的原材料都是低蒸氣壓材料。 由于供料量和耐熱溫度是使用氣體 MFC 的傳統(tǒng)烘烤方法的瓶頸，因此需要一種溫度限制較少且供料量大的直接汽化方法。 但是，在直接汽化法中，反應(yīng)氣體的流速是在液相中控制的，因此一個(gè)小的誤差就會(huì)對(duì)反應(yīng)產(chǎn)生很大影響。

以 H2O 為例，當(dāng) 1 ml 液相在理想狀態(tài)下汽化時(shí)，它會(huì)膨脹到 1,244 ml。 它已成為半導(dǎo)體制造設(shè)備中不可或缺的技術(shù)，它控制液體流速、蒸發(fā)并與之反應(yīng)，這需要對(duì)微小流速進(jìn)行高精度流量控制。

流量控制裝置包括 1 ml/min 或更低的計(jì)量泵，但計(jì)量泵連續(xù)執(zhí)行機(jī)械切換作，從而導(dǎo)致脈動(dòng)。 沒(méi)有機(jī)械切換的注射泵不會(huì)產(chǎn)生脈動(dòng)，但泵的體積有限，因此不適合連續(xù)進(jìn)料。

此外，當(dāng)液體以受控流量引入真空裝置時(shí)，由于計(jì)量泵中的壓差，流量不穩(wěn)定。

液體質(zhì)量流量控制器的流量控制是將氣體等加壓至恒定壓力的液體引入液體質(zhì)量流量控制器，通過(guò)內(nèi)部流量傳感器檢測(cè)瞬時(shí)流量，并持續(xù)控制閥門(mén)開(kāi)度，從而無(wú)論二次側(cè)是否減壓或大氣壓，都可以控制流量恒定。